激光數(shù)控沖床中激光干涉儀的工作原理介紹：

激光數(shù)控沖床中的激光干涉儀是運(yùn)用多普勒效應(yīng)（Doppler Effect）工作的。 任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質(zhì)或中間反射器的運(yùn)動(dòng)，會(huì)使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（Doppler Shift）, 其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運(yùn)動(dòng)有關(guān)。激光頭射出的頻率為 f0, 經(jīng)過反射鏡反射回來到激光頭內(nèi)的探測(cè)器，當(dāng)反射鏡不動(dòng)時(shí)，其反射波頻率 fr=f0。當(dāng)反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線性軸遠(yuǎn)離或者靠近激光頭時(shí)，因?yàn)楣獬淘黾踊驕p少了 2vt，反射波 fr的數(shù)值會(huì)減少或增加 2v /λ0，λ0為激光波長(zhǎng)。

即：Δf=f0- fr=2v /λ0=（2 /λ0）dx/dt。 （1）

 而 f=ω/2π, 且ω=dφ/dt，故：1/2π?d(Δ?)/dt=(2/λ0)dx/dt， （2）

求得：

N +Δφ/2π=（2 /λ0）x， （3）

 其中，N 為上式左邊積分滿一周期，即 2π 的周期，Δφ/2π 是未滿一周期的余量。由式（3）可得：χ=（λ0/2）（Δφ/2π+N）。 （4）

根據(jù)式（4），激光數(shù)控沖床中的激光干涉儀采用了一個(gè)鑒相器，每當(dāng)相位 φ 積滿一個(gè) 2π，鑒相器便輸出一個(gè)增位或減位脈沖，即式（4）中的N。另外，以 0 到 15V 的模擬電壓表示Δφ/2π 這一項(xiàng)。計(jì)算鑒相器的脈沖以及模數(shù)電壓的伏數(shù)，根據(jù)式（4）便可測(cè)知反射鏡的位移χ。

通常將反射鏡設(shè)定為移動(dòng)光學(xué)部件，將干涉鏡設(shè)定為靜止部件。二者可以反過來，但是最大測(cè)量距離將減少一半。因此，在超過 40m 行程的長(zhǎng)軸上測(cè)量時(shí)，必須線性干涉鏡靜止不動(dòng)，而另一個(gè)反射鏡移動(dòng)。而對(duì)行程小于 40m 的軸進(jìn)行測(cè)量時(shí)，為了方便測(cè)量，可以線性干涉鏡移動(dòng)，也可以反射鏡移動(dòng)。